為了模擬測量過程,納米定位階段(物理儀器,P-611) 。ZS)<br>用於取代探頭尖端,而探頭夾具保持不變。納米定位<br>階段有一個100μm的最大位移,非線性誤差為0.1%,可重複性較小<br>超過 10 nm。在這項工作中,PI階段的可重複性和線性影響感官靈敏度矩陣係數的確定、探針線性的測量以及探測系統的測量可重複性:因此,所呈現的測量值應與 PI 階段的報價性能相關。圖7a是納米定位階段的照片,它與手動實驗室插孔組裝在一起,以調整手寫筆尖端和舞臺之間的位移:在圖 7a 中,舞臺表面垂直於手寫筆,因此可以應用垂直探頭尖端位移(見圖 7b)。為了描述探測系統在橫向方向上的性能,納米定位階段可以使用圖 7a 中顯示的 L 支架重新置放,因此可以應用橫向位移,如圖 7c 中的示波所示。拋光鋁表面附著在納米定位階段的頭部,以便與手寫筆尖端進行可重複的接觸。
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